UV废气处理是通过紫外线光照技术将废气中的氧气分解为臭氧，利用臭氧与废气进行反应，将气体物质进行降解，再利用高能的UV光束裂解细菌的分子间，达到杀菌的目的。还降解技术成本低廉，运行稳定可靠，无需专人看护，但在废气处理的速度上较慢，莱芜RTO焚烧，相比低温等离子技术效率偏低。
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被迅速击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，RTO焚烧工程处理，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。(注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。)等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形式产生的低温等离子技术相比较，等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍，这就是传统低温等离子体技术治理工业废气99%以失败而告终的原因。
废气的处理应从两方面进行：一是针对悬浮粒状污染物的废气除尘；二是针对气态污染物的废气净化气态污染物的控制主要是利用物化性质，如溶解度、吸附饱和度、露i点及选择化学反应等的差异，将污染物从废气中分离出来；或者将污染物转化为无害或易于处理的物质。废气净化的基本方法有吸收法、吸附法、冷凝法、催化转化法及燃烧法等。
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